IT之家 12月27日消息，萬業(yè)企業(yè)今日在上證E互動平臺回復投資者，公司旗下凱世通的高能離子注入機設備已順利通過客戶驗證并完成驗收。這是國產(chǎn)高能離子注入機首次通過晶圓廠驗證。

IT之家了解到，離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中，離子注入機即是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設備。

高能離子注入機是離子注入機中技術難度最大的機型。長久以來，因其極大的研發(fā)難度和較高的行業(yè)競爭壁壘，被稱為離子注入機領域的“珠穆朗瑪峰”，是我國集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)鏈上亟待攻克的關鍵一環(huán)。

凱世通官網(wǎng)顯示，上海凱世通半導體股份有限公司于 2009 年 4 月在張江成立，由國際離子注入技術協(xié)會終身常務理事 —— 陳炯博士為首的五位國際知名離子注入設備專家創(chuàng)立。該團隊所開發(fā)的離子注入機全球銷售逾千臺。

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