IT之家 12月27日消息，萬(wàn)業(yè)企業(yè)今日在上證E互動(dòng)平臺(tái)回復(fù)投資者，公司旗下凱世通的高能離子注入機(jī)設(shè)備已順利通過(guò)客戶(hù)驗(yàn)證并完成驗(yàn)收。這是國(guó)產(chǎn)高能離子注入機(jī)首次通過(guò)晶圓廠驗(yàn)證。

IT之家了解到，離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過(guò)程中，需要摻入不同種類(lèi)的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機(jī)即是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

高能離子注入機(jī)是離子注入機(jī)中技術(shù)難度最大的機(jī)型。長(zhǎng)久以來(lái)，因其極大的研發(fā)難度和較高的行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)壁壘，被稱(chēng)為離子注入機(jī)領(lǐng)域的“珠穆朗瑪峰”，是我國(guó)集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)鏈上亟待攻克的關(guān)鍵一環(huán)。

凱世通官網(wǎng)顯示，上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司于 2009 年 4 月在張江成立，由國(guó)際離子注入技術(shù)協(xié)會(huì)終身常務(wù)理事 —— 陳炯博士為首的五位國(guó)際知名離子注入設(shè)備專(zhuān)家創(chuàng)立。該團(tuán)隊(duì)所開(kāi)發(fā)的離子注入機(jī)全球銷(xiāo)售逾千臺(tái)。

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